激光干涉式传感器以激光为光源，测量精度高，测量精度可达（ ）量级。
10^-2~10^-1
10^-5~10^-4
10^-8~10^-7
10^-10~10^-9
激光干涉式传感器测量精度高，测量精度可达 10^-8~10^-7 量级，分辨力高，量程大，可用做普通干涉系统测长或全息干涉系统检测复杂表面。
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